狭缝式化学气相沉积制备SiC涂层及其抗氧化性能研究

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狭缝式化学气相沉积制备SiC涂层及其抗氧化性能研究
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中图分类号:TB332
基金项目:湖南省创新创业投资项目(2018GK5065)，湖南省重点领域研发计划(2019GK2021)，广东省科技计划项目(2017A070701027,2017A070702016,2014B070705007)，广东省科学院创新能力建设项目(2017GDASCX-0111,2017GDASCX-0202,2018 GDASCX-0111,2018GDASCX-0402,2019GDASYL-0402004)，广东省科学院创新人才引进资助项目(2018GDASCX-0948)，中国航发创新基金(ZGHF-ZL-2017-C068)

The preparation of SiC coating by slit chemical vapor desperation and its oxidation resistance

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为了改善SiC涂层试样的均匀性,同时提高制备效率,利用石墨材料为沉积基体,通过狭缝式化学气相沉积法制备SiC涂层,同时分析并研究了SiC涂层的微观结构和抗氧化性能.研究结果表明:与普通化学气相沉积工艺相比,狭缝式化学气相沉积工艺沉积速率更大,沉积1h后涂层厚度为17.3 μm;狭缝式化学气相沉积工艺制备的SiC涂层晶粒更细,涂层均致密无缺陷,与基体相容性较好.狭缝式化学气相沉积的SiC涂层在1500℃时下具有较好的氧化防护能力,在静态空气中恒温氧化24 h后,氧化失重仅为4.01 mg/cm2.狭缝式化学气相沉积的SiC涂层表面裂纹的尺寸很小,在氧化过程中更容易被氧化产生的SiO2玻璃态物质封填,而发生自愈合效应,从而使涂层具有良好抗氧化性能.

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廖超前,王昊,齐绍忠,任兵,刘桦,何雨恬,黄东,张明瑜.狭缝式化学气相沉积制备SiC涂层及其抗氧化性能研究[J].材料研究与应用,2019,(3).

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在线发布日期: 2020-04-26
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