显微硬度计测试NiTi SMA薄膜与PZT基体结合力的分析

The analysis of microhardness testing of bonding force of NiTi SMA thin films and PZT substrate

摘要:

通过磁控溅射在锆钛酸铅陶瓷(PZT)基体表面沉积一定面积的NiTi SMA薄膜,用显微硬度测试分析薄膜与PZT基体间的结合力.结果表明:随沉积膜宽度增加,NiTi SMA薄膜与PZT基体的结合力减小;膜宽L＜3mm的NiTi SMA薄膜,其膜基结合力最高达351 N/mm2,比膜宽L≥3mm的结合力高2倍多.

Abstract: