准分子真空紫外改善材料表面结构与性能的研究

Study on surface structure and properties of materials modified with excimer vacuum ultraviolet

摘要:

简述了准分子VUV光源及反应器的结构与特点,用氙172 nm真空紫外灯在不同气氛条件下照射氧化铜片、聚丙烯板(PP)、镀金薄膜,以光电子能谱、全反射红外光谱等分析材料表面,研究材料表面结构与性能的变化.结果表明,控制反应气氛,室温下172 nm VUV即可清除铜片表面的污染物,还原铜片表面的氧化膜及活化镀金薄膜,在PP表面引入羟基或羰基,能有效地改善材料的表面性能.

Abstract: