能量法表征硅基底上韧性薄膜的塑性性能

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能量法表征硅基底上韧性薄膜的塑性性能
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                        [cstr]
                    
作者:
                        
                        
                    
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中图分类号:TB121
基金项目:湖南省衡阳市科技局项目(KJ01)，国家自然科学基金重点项目(50531060)，国家自然科学基金杰出青年资助项目(10525211)

An energy method to extract the plastic properties of thin films on Si substrate

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用三维弹塑性大应变有限元方法分析了沉积在硅基底上各种不同金属薄膜材料的Berkovich压入响应.通过能量量纲化结合有限元方法建立了一种表征金属薄膜塑性性能的方法.基于本文建立的能量法推导出了硅基底上铝薄膜的塑性性能,并与单轴拉伸实验结果及文献中方法得出的结果进行了比较,发现由本文中模型得出的结果与单轴拉伸的结果更为吻合.用本文提出的能量法来表征金属薄膜的塑形性能是完全可行的.

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廖艳果,胡和平,周益春.能量法表征硅基底上韧性薄膜的塑性性能[J].材料研究与应用,2010,(1).

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在线发布日期: 2020-04-26
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