优质纳米晶硅薄膜的低温制备技术及其在太阳能电池中的应用进展

Research progress in preparation techniques of high quality nanocrystalline silicon thin film at low temperature and its application to thin film solar cells

摘要:

纳米晶硅薄膜是集晶体硅材料和氢化非晶硅薄膜优点于一体,可望广泛应用于薄膜太阳能电池、光存储器、发光二极管和薄膜晶体管等光电器件的一种新型功能材料.本文综述低温制备优质纳米晶硅薄膜技术的研究进展及其在薄膜硅太阳能电池上的应用.

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