多晶硅及有机硅工业副产物综合利用技术

Comprehensive utilization of by-product from polycrystalline silicon and organosilicon monomer industryy

摘要:

介绍了我国多晶硅、三氯氢硅、有机硅单体工业的发展现状及其面临的问题--氯硅烷副产物的综合利用问题,提出利用氯硅烷在氢氧焰中进行高温水解缩聚反应,制备纳米级气相二氧化硅,这是既环保又经济的方法.它既解决氯硅烷副产物的出路问题,又能够真正实现节能减排,资源相互利用,对社会、经济和环保具有重大意义.

Abstract: