纳米多层膜的研究进展

Research progress in nano-multilayer

摘要:

综述了纳米多层膜的研究进展,包括多层膜超硬的原因、多层膜的种类、制备方法及结构和成分的检测手段,并提出纳米多层膜今后的研究方向和应用前景.

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