等离子体化学气相沉积的布气装置之设计

Design of gas distributor on plasma chemical vapour deposition

摘要:

推导了在设计真空镀膜设备时,计算镀膜室内布气管的直径和出气孔孔径的公式,di=[d-41-D-4L∑im=2(n+1-m)/(h+10-6Bq)]-1/4,以达到均匀布气的目的.给出了在等离子体化学气相沉积设备中的计算实例及应用情况,实践证明,用此公式设计真空镀膜均匀布气装置是可行的.

Abstract: