甲烷浓度对金刚石膜表面形貌及其热导率的影响

Effect of methane concentration on morphologies and thermal conductivity of diamond films

摘要:

以甲烷为碳源气体,用直流等离子射流法制备了金刚石膜.研究了不同甲烷浓度对金刚石膜的表面形貌和热导率的影响.结果表明,在甲烷浓度φ(CH4)为1.5，时,可以获得较高热导率的金刚石膜.

Abstract: